MEMS公共技術(shù)平臺由無錫微納產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司、中國物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心、無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、中科院微電子研究所等多家單位共同建設(shè)。 平臺以核心技術(shù)突破、產(chǎn)業(yè)集聚、人才集聚、支撐物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展及應(yīng)用示范為目標(biāo)，將分別建設(shè)MEMS設(shè)計服務(wù)子平臺、MEMS工藝試驗線、MEMS測試服務(wù)子平臺。

    MEMS設(shè)計與制造公共技術(shù)平臺從完善MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈的角度出發(fā)，依托華潤上華十余年半導(dǎo)體經(jīng)驗和規(guī)模制造能力，通過物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心的橋梁紐帶作用，建設(shè)國內(nèi)首條與CMOS工藝線和MEMS規(guī)模制造線無縫對接的MEMS研發(fā)生產(chǎn)和測試平臺，在無錫形成國內(nèi)首個具備設(shè)計、加工和測試服務(wù)能力的較為完備的MEMS公共技術(shù)平臺，在傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園集聚一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS傳感器研發(fā)機構(gòu)和企業(yè)。

組織與團隊

MEMS公共技術(shù)平臺現(xiàn)有員工50余人，研究員3人，副高級12人；博士11人，海歸3人。

領(lǐng)軍人物：

歐文-智能傳感器工程中心主任

現(xiàn)任智能集成傳感器工程中主任，負(fù)責(zé)MEMS設(shè)計服務(wù)平臺建設(shè)和封裝測試平臺建設(shè)。曾任中科院微電子所硅器件與集成電路研究室副研究員，研究員，華潤上華微電子研發(fā)工程師，項目經(jīng)理。負(fù)責(zé)國家973項目非揮發(fā)性存儲器與邏輯電路兼容關(guān)鍵工藝技術(shù)研究，九五攻關(guān)項目0.35um 集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究和0.1um級CMOS器件和性能研究”等重大國家級項目的研究工作。

顏苑-智能傳感器工程中心副主任

華美信息存儲協(xié)會副會長、2011年美國硅谷高創(chuàng)會秘書長。曾任職于英特爾、希捷、日立和中芯國際等公司。在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、MRAM、傳感器以及MEMS領(lǐng)域擁有超過15年的專業(yè)經(jīng)驗，包括先進的光刻技術(shù)，新工藝與技術(shù)開發(fā)、集成，材料特性及質(zhì)量驗證等。擁有豐富的團隊領(lǐng)導(dǎo)經(jīng)驗，具備項目和人員管理，客戶與供應(yīng)商銜接以及處理各種復(fù)雜問題的能力。